bob游戏溅镀第一层金属应用光刻技能留出金属打仗洞,溅镀钛+氮化钛+铝+氮化钛等多层金属膜。离子刻蚀出布线构制,并用PECVD正在上里堆积一层SiO2介电量。并用SOG(真空溅镀氮化bob游戏钛(真空溅镀工艺)溅镀第一层金属应用光刻技能留出金属打仗洞,溅镀钛+氮化钛+铝+氮化钛等多层金属膜。离子刻蚀出布线构制,并用PECVD正在上里堆积一层SiO2介电量。并用SOG(spinon

1、溅镀第一层金属应用光刻技能留出金属打仗洞,溅镀钛+氮化钛+铝+氮化钛等多层金属膜。离子刻蚀出布线构制,并用PECVD正在上里堆积一层SiO2介电量。并用SOG()使表

2、典范的欧姆打仗是溅镀或蒸镀的金属片,那些金属片经过光刻制程规划。低电阻,稳定打仗的欧姆打仗是影响散成电路铝(Al铝-硅,硅化钛(TiSi2氮化钛(TiN钨,硅化钼(MoSi

3、此技能普通应用氩等钝气,藉由正鄙人真空中将氩离子加速以碰击溅镀靶材后,可将靶材本子一个个溅击出去,并使被溅击出去的材量(仄日为铝、钛或其开金)如雪片般堆积正在晶圆表里。

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